Morphologie und Topographie beschreiben eine Oberfläche qualitativ bzw. quantitativ. Je nach den zu untersuchenden Abmessungen, der Oberflächenstruktur und dem Material können und müssen unterschiedliche Analyseverfahren herangezogen werden, um die Oberfläche qualitativ oder auch quantitativ beschreiben bzw. vermessen zu können.

Die Rasterelektronenmikroskopie (REM) und teilweise auch die Lichtmikroskopie können beispielsweise zwar einen guten qualitativen Eindruck liefern, jedoch können nur laterale Abmessungen quantitativ ausgemessen werden. Mittels der Profilometrie oder auch der Rasterkraftmikroskopie (AFM) können Oberflächen lateral und vertikal mit hoher Präzision vermessen werden. So können auch Rauheitsparameter (Ra, Rq etc.) berechnet und Oberflächen quantitativ verglichen werden.

Profilometermessung der Schmiertaschen auf einem Stahlblech