Die Oberflächenanalytik beschäftigt sich mit der Untersuchung der Oberfläche eines Festkörpers. Dabei kann es sich sowohl um eine strukturelle als auch eine chemische Analyse der Oberflächeneigenschaften handeln.

 

Viele der in diesem Bereich angewendeten Methoden haben eine Informationstiefe im Bereich weniger Nanometer bis zu wenigen Mikrometern. Soll die Oberfläche auch in größeren Tiefen oder sogar in Abhängigkeit von der Tiefe, beispielsweise zur Aufklärung von Schichtzusammensetzungen oder zur Analyse von DIffusionseffekten, untersucht werden, spricht man auch von Schichtanalysen oder auch Tiefenprofilanalysen.