Optische Profilometrie

Stärken der Technik

  • Dreidimensionale Abbildung und Vermessung von Oberflächen
  • Messung von Rauheiten und Stufenhöhen (Schichtdicken)
  • Berührungsloses und damit zerstörungsfreies Messverfahren

Technische Daten

Laterale Auflösung:
Vertikale Auflösung:
Messbereich:
Max. Stufenhöhe:
ca. 0,5 µm 
bis zu 0,3 nm 
bis zu einigen cm2
bis ca. 1 mm

Weitergehende Informationen

Anwendungsbeispiele
Methodeninformation (Optische Profilometrie) [PDF, 425kB]
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