Optische Profilometrie
Stärken der Technik
- Dreidimensionale Abbildung und Vermessung von Oberflächen
- Messung von Rauheiten und Stufenhöhen (Schichtdicken)
- Berührungsloses und damit zerstörungsfreies Messverfahren
Technische Daten
| Laterale Auflösung: Vertikale Auflösung: Messbereich: Max. Stufenhöhe: |
ca. 0,5 µm bis zu 0,3 nm bis zu einigen cm2 bis ca. 1 mm |
Weitergehende Informationen
Anwendungsbeispiele |