Optische Profilometrie

Stärken der Technik

Dreidimensionale Abbildung und Vermessung von Oberflächen
Messung von Rauheiten und Stufenhöhen (Schichtdicken)
Berührungsloses und damit zerstörungsfreies Messverfahren

Technische Daten

Laterale Auflösung:	ca. 0,5 µm
Vertikale Auflösung:	bis zu 0,3 nm
Messbereich:	bis zu einigen cm²
Max. Stufenhöhe:	bis ca. 1 mm

Weitergehende Informationen

Anwendungsbeispiele
Methodeninformation (Optische Profilometrie) [PDF, 425kB]
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