Rasterelektronenmikroskopie (REM, EDX)

Stärken der Technik

Abbildung von Oberflächen und unregelmäßigen Objekten mit sehr hoher Präzision und Schärfentiefe
quantitative Elementanalytik mittels EDX:
- Punkt- oder Partikelanalysen im Mikrometerbereich
- Erstellung von Elementverteilungsbildern

REM	Laterale Auflösung: Beschleunigungsspannung: Detektoren:	bis zu 3 nm 0,1 - 30 kV Sekundär-, Rückstreuelektronen- und In-Lense-Detektor
EDX	Nachweisbare Elemente: Nachweisgrenze: Quantifizierung: Informationstiefe: Laterale Auflösung:	alle ab Bor ca. 0,1 - 1 At% ja ca. 1 µm bis zu 0,3 µm