Rasterelektronenmikroskopie (REM, EDX)

Stärken der Technik

Abbildung von Oberflächen und unregelmäßigen Objekten mit sehr hoher Präzision und Schärfentiefe
quantitative Elementanalytik mittels EDX:
- Punkt- oder Partikelanalysen im Mikrometerbereich
- Erstellung von Elementverteilungsbildern

REM	Laterale Auflösung:	bis zu 3 nm
	Beschleunigungsspannung:	0,1 - 30 kV
	Detektoren:	Sekundär-, Rückstreuelektronen- und In-Lense-Detektor
EDX	Nachweisbare Elemente:	alle ab Bor
	Nachweisgrenze:	ca. 0,1 - 1 At%
	Quantifizierung:	ja
	Informationstiefe:	ca. 1 µm
	Laterale Auflösung:	bis zu 0,3 µm