Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS)
Stärken der Technik
- Massenspektrometrie direkt an der Oberfläche: Identifizierung organischer und anorganischer Verbindungen
- Spezifische Informationen von dünnen Schichten (Sub-Monolagen)
- Identifizierung von Kontaminationen
- Analyse leitender und nichtleitender Oberflächen
- Erstellung von Tiefenprofilen
Technische Daten
| Nachweisbare Elemente: Nachweisgrenze: Quantifizierung: Informationstiefe: Laterale Auflösung: Imaging / Mapping: |
alle (inkl. Isotope), zusätzlich molekulare Informationen Sub-Monolagen (~ ppm) nur eingeschränkt, mit Standards ca. 1-3 Monolagen bis zu 0,2 µm Ja |
Weitergehende Informationen
Anwendungsbeispiele |