Sekundärionenmassenspektrometrie (SIMS)

Stärken der Technik

Massenspektrometrie direkt an der Oberfläche: Identifizierung organischer und anorganischer Verbindungen
Spezifische Informationen von dünnen Schichten (Sub-Monolagen)
Identifizierung von Kontaminationen
Analyse leitender und nichtleitender Oberflächen
Erstellung von Tiefenprofilen

Nachweisbare Elemente:	alle (inkl. Isotope), zusätzlich molekulare Informationen
Nachweisgrenze:	Sub-Monolagen (~ ppm)
Quantifizierung:	nur eingeschränkt, mit Standards
Informationstiefe:	ca. 1-3 Monolagen
Laterale Auflösung:	bis zu 0,2 µm
Imaging / Mapping:	Ja