Tiefenprofilanalyse mittels XPS

Die Photoelektronenspektroskopie bietet die Möglichkeit, die Zusammensetzung einer Probenoberfläche quantitativ zu analysieren. Werden solche Messungen mit dem kontrollierten Abtragen der Oberfläche durch Ionen kombiniert, entsteht so ein quantitatives Bild der Zusammensetzung der obersten Schichten der Proben-oberfläche, ein sogenanntes Tiefenprofil.