Focused Ion Beam (FIB)

Stärken der Technik

• Präparation von Querschnitten kleiner Proben oder sehr dünner Schichten
• insbesondere für die Präparation von Anschnitten für die  Rasterelektronenmikroskopie (REM) und von Dünnschnitten für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) geeignet