Einsatz der Röntgenmikrobereichsanalyse in einem Rasterelektronenmikroskop (REM EDX)

Die Röntgenmikrobereichsanalyse wird auch EDX Analyse genannt, wobei EDX für Energy Dispersive X-ray spectroscopy steht. Wird diese Analyse mit einem Rasterelektronenmikroskop durchgeführt, spricht man kurz auch von einer REM EDX analyse.

Die Kombination der Elektronenmikroskopie mit einer EDX Analyse erlaubt eine lokale, quantitative chemische Analyse von Oberflächen, Partikeln oder kleineren Fehlstellen.

Bei einer REM EDX Analyse wird das Probenmaterial mittels eines Elektronenstrahls abgetastet, wobei die dadurch entstehende, Röntgenstrahlung Aufschluss über die Elementzusammensetzung des Probematerials gibt. Diese Röntgenstrahlung wird bei der EDX Analyse mit Hilfe eines Röntgendetektors nachgewiesen.

Diese quantitative Mikroanalyse der Elementzusammensetzung von Probenmaterial mittels einer REM EDX Untersuchung ermöglicht lokale Defekt-, Punkt- oder Partikelanalysen im Bereich von circa einem Mikrometer. Darüber hinaus können im Rahmen der EDX Analyse, auch sogenannte EDX-Elementverteilungsbilder (Mapping) erstellt werden.

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