Mit einer TOF SIMS Analyse Kontaminationen identifizieren

TOF SIMS ist die Abkürzung für eine Flugzeit-Sekundärionenmassenspektroskopie. Bei dieser Form der Materialanalysen wird eine Messung der atomaren und molekularen Zusammensetzung der obersten 1-3 Monolagen einer Probe durchgeführt.

Die TOF SIMS Analyse erlaubt, organische Verbindungen an Oberflächen von zahlreichen Materialien zu identifizieren. Dies geschieht bei der TOF SIMS, indem die zu untersuchende Materialoberfläche mit einer geringen Ionendosis beschossen wird, wodurch sich Material herauslöst. Anschließend wird dieses Material im Rahmen der TOF SIMS in einem Massenspektrometer analysiert und so die chemische Zusammensetzung der Oberfläche bestimmt. Dies gilt für organische und auch anorganische Verbindungen und kann sowohl bei leitenden als auch bei nichtleitenden Oberflächen angewandt werden.

Typische Anwendungen der TOF SIMS sind die Identifizierung von Kontaminationen, Ausblühungen und Belägen oder die Untersuchung von Haftungsproblemen.

Bei einem Vergleich mit Standardproben mit bekannter Zusammensetzung kann bei der TOF SIMS so eine Quantifizierung der Daten bis zu einer Nachweisempfindlichkeit im Bereich ppm bzw. fmol erfolgen.

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